直线驱动磁悬浮进给机构的研究

• 作者: 何惠阳 孙宝玉 宋文荣 梁淑卿 王延风
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 直线驱动 磁悬浮平台 直线同步电机 数字PID控制
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 338-342
• 页数: 5页
• 分类号: TN403
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.04.005

摘要

分析了传统机械进给机构的特点,设计了一种集磁悬浮和线性驱动技术为一体的精密进给平台机构,此机构采用直线同步电机对悬浮的平台机构提供驱动力.这种驱动方式避免了传统驱动方式造成的摩擦、弹性变形、滞后和非线性误差,实现了平台进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向.针对磁悬浮平台进给机构设计了直线同步电机的结构,并对直线电机产生的磁力进行分析计算.直线驱动技术在磁悬浮平台进给机构中的应用使进给系统具有响应快速、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙宝玉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	291	12.0	16.0
3	宋文荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	285	10.0	13.0
4	王延风	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	310	12.0	16.0
5	何惠阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	21	469	12.0	21.0
8	梁淑卿	长春工业大学机电学院	8	75	5.0	8.0