磁悬浮微进给机构研究

• 作者: 于国飞 何惠阳 宋文荣 王延风
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮 微进给机构 直线电机 超洁净 进给精度
• 年，卷（期）: 2003,（13）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1090-1093
• 页数: 4页
• 分类号: TH112.4
• 字数: 5143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.13.004

摘要

导轨副的摩擦和磨损影响机构的进给精度,摩擦产生的金属粉尘使微进给机构不能满足超洁净制作环境要求.磁悬浮技术应用于微进给机构,可消除摩擦.结合直线电机能实现零传动的特点,分别设计了磁悬浮轴承形式和磁悬浮导轨形式的两种微进给机构,分析了它们的特点,阐明了进一步改善的方向.理论分析计算该微进给机构在垂直及水平方向的误差可控制在±1μm内,在水平方向能实现亚微米级进给精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋文荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	285	10.0	13.0
2	于国飞		12	243	8.0	12.0
3	王延风	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	310	12.0	16.0
4	何惠阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	21	469	12.0	21.0