基于PMAC的磁悬浮微进给机构的控制

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮微机给机构 PID控制 PMAC
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 自动化技术与设备
• 页码范围: 250-253
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 1817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z2.059

摘要

针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.通过PID特性分析并利用PMAC运动控制器设计了一套完整的控制系统,详细阐明了整个控制系统的结构与工作原理,通过试验曲线比较说明了该控制系统的准确性,更进一步的说明了磁悬浮微进给机构的合理性.