电磁悬浮静电驱动旋转微镜控制系统设计

• 作者: 罗忠辉 肖奇军
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁悬浮 静电驱动 微镜 控制系统
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 页码范围: 1935-1942
• 页数: 8页
• 分类号: TH703|TN703
• 字数: 3717字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192709.1935

摘要

为了实现对电磁悬浮微镜绕轴向-180°到+180°角度的旋转控制.对该系统所采用的电磁悬浮、静电驱动、转角闭环控制等进行研究.首先,设计和制造了电磁悬浮微镜的定子和转子结构.接着,对通过线圈的电流频率、电流大小与悬浮高度的关系进行仿真和实验,实验结果和仿真结果基本一致.然后,在分析变电容驱动原理的基础上,进行旋转控制实验,说明在按相序通电情况下,转子能实现旋转.最后,介绍了采用高精度的电容检测的转角闭环控制系统.实验结果表明:在激励电流峰一峰值是0.SA,激励频率为20 MHz时,转子悬浮到100 μm高度,能够实现指定角度的控制,基本满足电磁悬浮微镜的控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖奇军	肇庆学院电子与电气工程学院	14	34	2.0	5.0
2	罗忠辉	广东技术师范大学机电学院	17	20	3.0	3.0