E型碳化硅压力传感器的优化设计

• 作者: 李跃进 杨银堂 林文琼 汪家友
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 压力传感器 ANSYS E型结构
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 611-614,618
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.04.020

摘要

描述了一种性能优越的SiC压力传感器的理论和仿真运用基于小扰度的解析模型计算出了这种传感器的应变分布.根据应变分布规律优化设计了传感器的力敏电阻.利用ANSYS软件分析了该传感器的一些重要特性.与传统的传感器(圆膜传感器)相比,量程为500 kPa的该传感器表现出优异的灵敏度(24.8 μV/V.kPa)和非线性度小于0.08%.仿真结果与测量结果基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪家友	西安电子科技大学微电子研究所	31	267	11.0	15.0
2	杨银堂	西安电子科技大学微电子研究所	420	2932	23.0	32.0
3	李跃进	西安电子科技大学微电子研究所	70	432	11.0	17.0
4	林文琼	西安电子科技大学微电子研究所	2	14	1.0	2.0