锗基底3～5μm和8～12μm双波段红外增透膜研究

• 作者: 宋俊杰 朱昌 杭凌侠 潘永强
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 双波段 红外增透膜 离子束辅助沉积 类金刚石膜
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 372-374
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|TN214
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2004.05.016

摘要

文中简要叙述了双波段(3～5μm和8～12μm)红外增透膜的膜料选择以及锗基底上红外双波段增透膜的设计与镀制,介绍了离子束辅助沉积技术制备该薄膜的过程.提出了采用脉冲真空电弧离子镀技术镀制无氢类金刚石膜作为红外增透膜的保护膜,并讨论了镀制类金刚石膜后,镀膜元件的光谱特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杭凌侠	西安工业学院光电工程学院	93	777	15.0	22.0
2	宋俊杰	西安工业学院光电工程学院	6	68	4.0	6.0
3	潘永强	西安工业学院光电工程学院	63	392	11.0	15.0
4	朱昌	西安工业学院光电工程学院	39	245	9.0	13.0