改进表面分流型二维PSD传感器及位置检测误差标定的研究

• 作者: 孙玉海 袁江
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: PSD传感器 位置检测误差 标定
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 1881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2004.04.006

摘要

介绍了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对传感器位置检测误差大的缺点,设计了实验标定系统,经修正处理后,在传感器A区的位置检测误差＜±0.02mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁江	南通工学院机械工程系	10	50	4.0	7.0
2	孙玉海		1	16	1.0	1.0