共光路移相单频激光干涉测长系统

• 作者: 艾华 韩旭东
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 移相 光程差放大 共光路 精度分析及测试
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 195-198
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2004.02.007

摘要

单频激光干涉系统采用偏振光移相方法,用来解决常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题.共光路设计提高了干涉系统的测量稳定性和重复性.采用光程差放大技术提高了干涉系统的分辨力.在构造了一套实验布局的基础上,分析了影响系统测长精度的主要因素,并对干涉系统的测量误差分量做了定量的分析,完成了系统的精度测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	艾华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	28	363	10.0	18.0
2	韩旭东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	21	302	10.0	17.0