MEMS--电子领域的新宠

• 作者: 孙继萍 黄萍
• 来源期刊: 山东师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微型 电子 机械
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TP29
• 字数: 2197字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4748.2004.02.016

摘要

微机电系统技术(MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的.其微型化、集成化、批量生产和多学科交叉等优良特性将对人类社会生活带来巨大的进步,是电子领域的新宠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄萍	山东师范大学物理与电子科学学院	19	95	6.0	9.0
2	孙继萍	山东师范大学实验室管理处	7	45	4.0	6.0