PIN二极管的研究进展

• 作者: 江利 王建华 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: PIN二极管 离子注入 扩散 外延 键合
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 372-376
• 页数: 5页
• 分类号: TN432
• 字数: 3468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2004.02.036

摘要

制备PIN二极管的几种方法:扩散法、离子注入法、外延法和键合法.用各种方法制备PIN二极管的工艺过程.分析了各种方法的优缺点,着重比较了键合与外延方法制备PIN二极管.结果表明键合工艺制备PIN二极管不仅制造成本低,工艺简单,而且界面缺陷少,反向击穿电压高.所以用键合工艺制备PIN二极管可能成为未来主流制造技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建华	合肥工业大学理学院	12	110	6.0	10.0
2	江利	合肥工业大学理学院	1	20	1.0	1.0