纳米精度激光激振测振仪

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 测振仪 激振 精度 先进制造 MEMS 高技术 自动化技术 光激 激光 专家组
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 7-8
• 页数: 2页
• 分类号: TH133.33

摘要

在科技部高技术中心和上海市科学技术委员会主持下，国家“863”计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项专家组对上海光所承担的国家“863”计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项课题“纳米精度激光激振测振仪”课题进行了验收。