星用高精度压力传感器设计

• 作者: 崔宏敏 张丽娟 王凡
• 来源期刊: 哈尔滨商业大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 卫星 高精度 压力 压阻式 传感器
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 控制工程
• 页码范围: 300-303,336
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 4093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-0946.2004.03.011

摘要

介绍了星用高精度压力传感器的枝术要求、工作原理、结构设计与电路设计及试验结果;对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨传感器是依据硅微压阻效应原理,采用相关半导体平面工艺技术、微机械加工技术以及电子线路中信号调理与补偿技术,将压力敏感元件与调理电路一体化封装在壳体内传感器具有非线性好、工作温度范围宽、抗冲击过载、性能稳定可靠等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凡	中国电子科技集团公司第四十九研究所	15	44	4.0	6.0
2	崔宏敏	中国电子科技集团公司第四十九研究所	11	51	4.0	7.0
3	张丽娟	中国电子科技集团公司第四十九研究所	8	0	0.0	0.0