论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 自动化技术与计算机技术期刊 \
- 微电子学与计算机期刊 \
低量程高精度压力传感器芯片设计与工艺
低量程高精度压力传感器芯片设计与工艺
原文服务方：
微电子学与计算机
摘要：
介绍了通过半导体单岛膜结构设计和MEMS工艺技术对扩散硅原理的压力传感器设计及应用进行了拓展.在低量程范围较大幅度提搞了压力传感器精度,并对实现产品关键工艺条件进行了描述.
推荐文章
高精度薄膜压力传感器的研制
薄膜压力传感器
封闭全桥
补偿
高精度
压力传感器高精度温度补偿的软件实现
压力传感器
零点温漂
温度补偿
输出
扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法
扩散硅压力传感器
温度
非线性
误差补偿
满量程
海洋专用高精度压力传感器温度特性及补偿算法研究
压力传感器
温度补偿算法
动态误差矫正
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
版权信息
全文
- 全文.pdf
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (2)
节点文献
引证文献 (4)
同被引文献 (1)
二级引证文献 (2)
1990(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
1994(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
2008(1)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(1)
- 二级引证文献(0)
2008(1)
- 引证文献（1）
- 二级引证文献（0）
2011(1)
- 引证文献（1）
- 二级引证文献（0）
2015(2)
- 引证文献（2）
- 二级引证文献（0）
2016(2)
- 引证文献（0）
- 二级引证文献（2）
研究主题发展历程
节点文献
压力
传感器
量程
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微电子学与计算机
主办单位：
中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1000-7180
CN：
61-1123/TN
开本：
大16开
出版地：
邮发代号：
创刊时间：
1972-01-01
语种：
chi
出版文献量（篇）
9826
总下载数（次）
0
总被引数（次）
59060
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
微电子学与计算机2023
微电子学与计算机2000
微电子学与计算机2001
微电子学与计算机2002
微电子学与计算机2003
微电子学与计算机2004
微电子学与计算机2005
微电子学与计算机2006
微电子学与计算机2007
微电子学与计算机2008
微电子学与计算机2009
微电子学与计算机2010
微电子学与计算机2011
微电子学与计算机2012
微电子学与计算机2013
微电子学与计算机2014
微电子学与计算机2015
微电子学与计算机2016
微电子学与计算机2017
微电子学与计算机2018
微电子学与计算机2019
微电子学与计算机2020
微电子学与计算机2022
微电子学与计算机2008年第9期
微电子学与计算机2008年第11期
微电子学与计算机2008年第2期
微电子学与计算机2008年第1期
微电子学与计算机2008年第4期
微电子学与计算机2008年第7期
微电子学与计算机2008年第5期
微电子学与计算机2008年第10期
微电子学与计算机2008年第3期
微电子学与计算机2008年第6期
微电子学与计算机2008年第8期
