FFU在电子超净工程中应用

• 作者: 王力 黄征
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: FFU 吊顶龙骨 过滤器
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 先进工艺设备技术
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.03.021

摘要

介绍FFU在超净工程中的优势,以实例讨论了超净工程中使用FFU如何最优化设计,简化系统,降低成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄征		3	15	2.0	3.0
2	王力		3	15	2.0	3.0