聚焦电子束离子束双束系统在材料科学与技术中的应用

• 作者: 崔铮 杨海方 罗强 金爱子 陈雷明
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束 微加工技术 二维光子晶体 纳米电极
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与技术
• 页码范围: 243-246
• 页数: 4页
• 分类号: TF8
• 字数: 1958字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2004.z2.056

摘要

聚焦电子束离子束双束系统由于其电子束与离子束同存于一个腔体内,可以使用电子束扫描直接了解欲加工样品的形貌并确定加工位置,转换至离子束便可以直接加工,所以在制备透射电镜样品、光子晶体、一维纳米材料电极等工艺上有不可取代的优异条件,成为微加工技术中不可或缺的重要设备.详细介绍了利用美国FEI公司的DB235系统制备透射电镜样品、光子晶体、一维纳米材料电极等新技术的工艺过程,并与其它一些相关的制备方法进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金爱子	中国科学院物理研究所微加工实验室	6	27	2.0	5.0
2	杨海方	中国科学院物理研究所微加工实验室	6	7	1.0	2.0
3	陈雷明	中国科学院物理研究所微加工实验室	5	10	2.0	3.0
4	罗强	中国科学院物理研究所微加工实验室	5	54	1.0	5.0