大功率汞灯调节机构的研制

• 作者: 李志南
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻设备 汞灯 均匀性 分辨力 调节机构
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 新技术与新设备
• 页码范围: 67-69
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.05.014

摘要

简要概述了光刻设备中一种汞灯调节机构的研制,重点介绍了该机构的工作原理和技术特点.