高精度4英寸硅片腐蚀装置

• 作者: 刘沁 匡石 张纯棣 李民
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 传感器 各向异性腐蚀 硅
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 6-7
• 页数: 2页
• 分类号: TG172.63
• 字数: 2288字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2004.05.003

摘要

高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关健设备之一。它采用计算机智能控制，一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀，无需人工控制，腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究成果重点介绍了高精度4项寸硅片腐蚀装置的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点及设备的主要关健技术、并给出了设备的性能测试指标。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘沁		13	74	4.0	8.0
2	匡石		13	40	4.0	5.0
3	张纯棣		1	1	1.0	1.0
4	李民		2	3	1.0	1.0