水热法制备锡掺杂氧化钛薄膜工艺因素研究

• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 掺锡二氧化钛 薄膜 水热法 工艺因素
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 82-85
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 1974字
• 语种: 中文

摘要

以Ti(SO4)2为前驱物,尿素为沉淀剂,SnCl4为掺杂剂,采用水热法制备出Sn-TiO2薄膜.利用XRD、SEM和UV-VIS等测试手段对薄膜的物相、表面形貌和吸光性等进行了表征.研究了Ti(SO4)2的浓度、SnCl4的掺入量、水热反应温度和保温时间对制备Sn-TiO2薄膜的影响.结果表明,在一定工艺条件下,可制备出均匀、致密,无可视缺陷,厚度约160 nm的Sn-TiO2薄膜.