动态随机存取记忆体的深槽电容器制造方法

• 作者: 衣冠君
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 深槽 电容器 动态随机存取记意体 埋藏式连接器 埋藏式基板
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 制造与工艺
• 页码范围: 56-61
• 页数: 8页
• 字数: 6585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.05.012

摘要

首先对深槽电容器应用于4Mb至256Mb动态随机存取记忆体的发展做简要的回顾,以便于读者了解不同时期的记忆体元件设计概念及关键技术.后半部分以示意图方式解析256Mb深槽电容器制造工艺流程,使读者进一步了解先进记忆体产品制造上的主要挑战.