声表面波直线型电机小型化的研究

• 作者: 熊瑛 褚家如 邬玉亭
• 来源期刊: 机械制造
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波速度 机电耦合系数 压电材料 声表面波直线型电机
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TM303
• 字数: 1869字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4998.2004.03.015

摘要

随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势.文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科技大学精密机械与精密仪器系	3	19	2.0	3.0
2	熊瑛	中国科技大学精密机械与精密仪器系	1	0	0.0	0.0
3	邬玉亭	中国科技大学精密机械与精密仪器系	1	0	0.0	0.0