溶胶-凝胶提拉法制备ZnO薄膜及其性能研究

• 作者: 叶志镇 向因 季振国 宋永梁 王泉香
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 化学
• 关键词: ZnO薄膜 光致发光 溶胶-凝胶法 提拉法
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 9-11
• 页数: 3页
• 分类号: O434|O484.4|O484.1|O614.24
• 字数: 2183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2004.01.003

摘要

采用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用荧光光谱分析了经过400～600℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下可获得较强的紫外带边发射.适当选择热处理温度可以获得无可见波段发射的ZnO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	向因	浙江大学硅材料国家重点实验室	8	67	4.0	8.0
3	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
4	宋永梁	浙江大学硅材料国家重点实验室	6	138	5.0	6.0
5	王泉香	浙江大学硅材料国家重点实验室	1	21	1.0	1.0