非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究

• 作者: 蒋迪奎 陈丽萍
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: NEG 混合气体 抽气性能
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 225-229
• 页数: 5页
• 分类号: TB751
• 字数: 4068字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.03.017

摘要

NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体.测试了SEAS公司的NEG组件ST707WP 1250对由80%H2和20%CO组成的混合气体的抽气性能,并和抽纯气性能进行了比较.混合气体中的NEG对H2的抽速受CO影响,随H2吸气量的增加而明显下降.混合气体中的NEG对CO的抽速不受H2影响.研究结果为SSRF储存环真空系统设计提供了重要依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈丽萍		3	29	3.0	3.0
2	蒋迪奎		3	29	3.0	3.0