金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工

• 作者: 刘品宽 刘柱方 孙立宁 汤儆 田中群 田昭武 蒋利民
• 来源期刊: 应用化学
• 学科: 化学
• 关键词: 约束刻蚀剂层技术(CELT) 金属铜 三维微加工 化学刻蚀
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 227-230
• 页数: 4页
• 分类号: O646.6
• 字数: 3087字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0518.2004.03.003

摘要

运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属铜(Cu)表面实现了三维微图形加工，取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系。 采用规整的三维齿状结构为模板,在Cu表面得到了与齿状结构模板互补的三维微结构。 采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对所刻蚀图案进行表征，证实CELT可用于金属表面三维微图形的刻蚀加工。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
2	田中群	厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室化学系	103	779	14.0	23.0
3	田昭武	厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室化学系	11	95	4.0	9.0
4	刘品宽	哈尔滨工业大学机器人研究所	19	609	15.0	19.0
5	汤儆	厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室化学系	10	43	4.0	6.0
6	蒋利民	厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室化学系	4	66	4.0	4.0
7	刘柱方	厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室化学系	1	15	1.0	1.0