离子束增强沉积二氧化钒薄膜和器件的研究进展

• 作者: 李金华 袁宁一
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钒薄膜 离子束增强沉积 非制冷红外成像
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|O484.4|TN213
• 字数: 2608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2004.01.014

摘要

用改进了的离子束增强沉积方法从V2O5粉末直接制备了VO2多晶薄膜,薄膜具有较高的温度系数和致密、稳定的结构.详细分析了成膜机理,介绍了薄膜工艺的优化、薄膜性能测试和理论模拟的主要结果.讨论了利用IBED薄膜研制非制冷红外成像阵列的读出电路和微桥结构设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华	江苏工业学院信息科学系功能材料实验室	33	277	9.0	15.0
2	袁宁一	江苏工业学院信息科学系功能材料实验室	26	154	8.0	10.0