溶胶-凝胶法制备PST铁电薄膜

• 作者: 姜胜林 李元昕 谢甜甜 邓传益
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: PST薄膜 溶胶-凝胶法 介电性能 铁电性能
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 薄膜材料与表面技术
• 页码范围: 492-495
• 页数: 4页
• 分类号: TF8
• 字数: 1610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2004.z2.111

摘要

为了制备非致冷红外焦平面阵列,采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了PST铁电薄膜材料,研究了PST薄膜的结构及介电、铁电性能.XRD谱分析显示,PST膜呈现纯钙钛矿结构.SEM电镜照片显示,PST膜厚均匀一致,无裂纹、高致密.在室温且频率为1kHz时,PST膜介电常数为570,介电损耗为0.02,其热释电系数最大值为7.4×10-4C·m-2·K-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜胜林	华中科技大学电子科学与技术系	101	727	15.0	21.0
2	谢甜甜	华中科技大学电子科学与技术系	8	12	2.0	3.0
3	邓传益	华中科技大学电子科学与技术系	14	94	4.0	9.0
4	李元昕	华中科技大学电子科学与技术系	5	30	2.0	5.0