室温下纳米多孔氧化铝湿度传感器的研究

• 作者: 张会锐 张年生 张辉 杨德仁 杨青
• 来源期刊: 浙江大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔氧化铝 复阻抗 相对湿度
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 电子、通信与自动控制技术
• 页码范围: 420-424
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2004.04.007

摘要

研究了纳米级多孔氧化铝为敏感膜的湿度传感器的制备、性能和感湿机理.用阳极氧化法制得纳米多孔氧化铝,用LCR测量仪研究了该传感器的电容和阻抗随湿度变化的特性,结果发现其电容特性和阻抗特性在33%～97%相对湿度(RH)范围内线性度很好.并用等效电路模型对传感器的复阻抗特性进行了分析,讨论了传感器的感湿机理.结果表明,在低湿下该传感器等效于一个R、C并联电路,以电子导电为主;在高湿下等效于两个R、C并联电路的串联,以离子导电为主.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辉	浙江大学硅材料国家重点实验室	84	923	18.0	26.0
2	杨德仁	浙江大学硅材料国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
3	杨青	浙江大学硅材料国家重点实验室	88	1005	17.0	28.0
4	张年生	浙江大学物理系	4	20	1.0	4.0
5	张会锐	浙江大学硅材料国家重点实验室	1	18	1.0	1.0