基于法布里-珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作

• 作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光读出热成像 法布里-珀罗微腔 微机电系统 热-机械灵敏度
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 光学元器件
• 页码范围: 1375-1380
• 页数: 6页
• 分类号: TN216
• 字数: 3615字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2004.10.017

摘要

提出了一种新颖的基于硅基法布里-珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像,其焦平面阵列(FPA)是一个基于微机电系统(MEMS)制作的法布里-珀罗微腔阵列.阐明了器件的工作原理;完成了可动微镜结构、热-机械、可见光读出部分设计.理论分析表明,对Al/SiO2双材料体系而言,SiO2厚度应大于0.3μm,其最佳厚度比为0.598,相应的最大热-机械灵敏度可达10-8m/K.采用体硅微机电系统技术,实验制作出了50×50焦平面阵列.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	焦继伟	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	24	143	7.0	10.0
4	冯飞	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	15	52	5.0	6.0