硅基法布里-珀罗微腔的室温发光

• 作者: 但亚平 刘理天 岳瑞峰 王燕
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 法布里-珀罗(F-P)微腔 碳化硅 光致发光
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 68-71
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.01.014

摘要

提出了一种新型基于法布里-珀罗(F-P)微腔的发光器件结构.它采用PECVD方法制备的非晶硅/二氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射腔,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层,通过对一维方向光子的限制,使发光层荧光强度增强,谱线变窄.通过调节发光层和反射腔膜厚及折射率,可以精确控制发光峰位.实验结果证明该结构可望实现全硅基材料的强室温可见光发射.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳瑞峰	清华大学微电子学研究所	67	379	11.0	15.0
2	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
3	王燕	清华大学微电子学研究所	55	351	8.0	17.0
4	但亚平	清华大学微电子学研究所	6	5	1.0	2.0