硒化锌晶体加工工艺研究

• 作者: 卢利平 孙晶 张玉兰 朱忠丽 李永亮 李长江 王英伟 臧春和
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 硒化锌晶体 表面光洁度 晶体加工
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 页码范围: 612-615
• 页数: 4页
• 分类号: O736
• 字数: 2756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2004.05.016

摘要

根据硒化锌(ZnSe)晶体材料的性能特点,在大量试验的基础上,探索出了一套实用的、行之有效的ZnSe晶体的整盘等厚加工工艺.加工中采用双氧水溶剂浸泡Al2O3抛光剂,软化了Al2O3磨料.结果表明:该工艺技术有效地提高了ZnSe晶体零件的表面光洁度,保证了同心度,对于实际生产有一定的推广应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙晶	长春理工大学材料科学系	93	444	11.0	15.0
2	卢利平	长春理工大学材料科学系	52	514	13.0	19.0
3	王英伟	长春理工大学材料科学系	26	291	11.0	16.0
4	朱忠丽	长春理工大学材料科学系	59	240	8.0	12.0
5	李永亮	长春理工大学光学加工中心	40	94	5.0	8.0
6	张玉兰	长春理工大学光学加工中心	10	43	4.0	6.0
7	李长江	长春理工大学光学加工中心	5	33	4.0	5.0
8	臧春和	长春理工大学材料科学系	2	28	2.0	2.0