多晶铜膜纳米压入蠕变性能

• 作者: 徐可为 王飞
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压入 蠕变 残余应力 应力指数
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 页码范围: 1281-1285
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 2920字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2004.08.005

摘要

在JGP560V磁控溅射镀膜设备上镀制多晶铜膜,利用纳米压入技术测量了其室温下的蠕变性能.结果表明:由于不同加载方式下,材料加工硬化程度的不同造成了应力指数的差异,因而,不同加载方式对测得的铜膜蠕变应力指数有比较大的影响;由于材料在高载荷时在压头下端产生更多的位错,阻碍了压头的压入,使蠕变率降低,因而,随着保载载荷的升高,蠕变应力指数变大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
2	王飞	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	42	448	11.0	20.0