准LIGA工艺的关键技术

• 作者: 陈光焱
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 准LIGA技术 准LIGA工艺 加工温度 产品加工 金属结构 微传感器 微执行器 实验条件
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 225
• 页数: 1页
• 分类号: TQ325.3

摘要

准LIGA（Lithography，Electroforming，Molding）技术采用便宜的紫外光作光源，可加工出较高精度的微结构产品，且加工温度较低，使得它在微传感器、微执行器等微结构产品加工中显示出突出的优点。利用现有实验条件在所内首次开展准LIGA技术的研究，主要研究厚胶光刻和微电铸技术。基本流程为：在导电的基片上经涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜等工艺过程得到胶模，再利用该胶模进行微电铸，即金属沉积，沉积过程中需要控制好温度、pH值、电流密度等参数，最后将金属结构和光刻胶进行分离，得到三维立体金属结构，如图1所示。