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微加速度计
微加速度计
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摘要：
本文论述了微机械系统(MEMS)的发展,介绍了电容式微加速度计和压阻式微加速度计的结构,分析了它们的工作原理,以及制作工艺.
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文献信息
| 篇名 | 微加速度计 | ||
| 来源期刊 | 四川大学学报(自然科学版) | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微加速度计 电容 单晶硅 | ||
| 年，卷（期） | 2004,（z1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 561-564 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TH824 |
| 字数 | 3045字 | 语种 | 中文 |
| DOI | 10.3969/j.issn.0490-6756.2004.z1.132 | ||
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研究主题发展历程
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微加速度计
电容
单晶硅
研究起点
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期刊影响力
四川大学学报(自然科学版)
主办单位：
四川大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
0490-6756
CN：
51-1595/N
开本：
大16开
出版地：
成都市九眼桥望江路29号
邮发代号：
62-127
创刊时间：
1955
语种：
chi
出版文献量（篇）
5772
总下载数（次）
10
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