镍钨合金镀层结构

• 作者: 万小波 周兰 张林 肖江
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 镍钨合金 镀层结构 真空镀膜 合金薄膜 ICF靶 电镀合金 合金材料 薄膜性能
• 年，卷（期）: zggcwlyjykjnb_2004,（1）
• 页码范围: 280-281
• 页数: 2页
• 分类号: TQ153.2

摘要

近年，ICF研究中需要用到愈来愈多的合金腔靶或平面靶，其中这些合金材料中有相当一部分无法通过真空镀膜等手段得到。但是，研究发现，某些无法由真空镀膜获得的合金薄膜可以通过电镀或化学镀等技术获得，而且所得薄膜性能（如均匀性等）优异。因此，电镀合金技术等在ICF靶用合金薄膜的研究中具有十分重要的现实意义。