一种改善准分子激光光束均匀性的新型均匀器

• 作者: 凌磊 叶震寰 李红霞 楼祺洪 董景星 魏运荣
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 准分子激光 光束均匀器 梯形棱镜 平顶因子
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 785-788
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.2+2
• 字数: 2088字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.07.005

摘要

准分子激光作为当前光刻装置的主要光源,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀.为了改善其光束强度分布的均匀性,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器.从理论上分析了其工作原理及设计加工要求,计算了最佳均匀截面位置,并与普通棱镜均匀器进行了比较.实验中根据经梯形棱镜折射后光束能量在中间较强光束的本底基础上进行三分互补叠加的原理,实现了其与普通棱镜均匀器在二维方向上的组合使用;通过调节均匀器与接收屏之间的距离并同时记录每一位置处光束光斑的能量分布改善情况,确定了最佳均匀截面位置并与理论计算相吻合.利用其改善准分子激光器输出光束强度的分布,起伏优于4%,其均匀效果优于普通棱镜均匀器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶震寰	中国科学院上海光学精密机械研究所	24	241	10.0	15.0
2	楼祺洪	中国科学院上海光学精密机械研究所	131	1539	22.0	31.0
3	董景星	中国科学院上海光学精密机械研究所	93	890	17.0	23.0
4	魏运荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	86	833	17.0	23.0
5	凌磊	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	166	7.0	12.0
6	李红霞	中国科学院上海光学精密机械研究所	24	187	9.0	13.0