U形阵列式微机械悬臂梁的研究

• 作者: 于晓梅 张大成 李婷 王丛舜 阮勇
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 噪声 灵敏度 最小可探测位移
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 31-36
• 页数: 6页
• 分类号: TN4
• 字数: 4334字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.01.007

摘要

为提高悬臂梁的分辨率,实现悬臂梁的多功能性,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁.从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸.选用多晶硅为力敏材料,基于硅微机械加工技术,制备U形阵列式悬臂梁.测量悬臂梁的噪声及灵敏度,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数,分别为3×10-3和27.在6V偏压和1000Hz测量带宽条件下,计算悬臂梁的最小可探测位移为0.5nm.同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丛舜	北京大学微电子学研究所	3	42	2.0	3.0
2	张大成	北京大学微电子学研究所	43	793	13.0	27.0
3	李婷	北京大学微电子学研究所	44	616	13.0	23.0
4	于晓梅	北京大学微电子学研究所	11	65	5.0	8.0
5	阮勇	北京大学微电子学研究所	6	52	3.0	6.0