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摘要:
为提高悬臂梁的分辨率,实现悬臂梁的多功能性,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁.从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸.选用多晶硅为力敏材料,基于硅微机械加工技术,制备U形阵列式悬臂梁.测量悬臂梁的噪声及灵敏度,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数,分别为3×10-3和27.在6V偏压和1000Hz测量带宽条件下,计算悬臂梁的最小可探测位移为0.5nm.同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨.
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内容分析
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文献信息
篇名 U形阵列式微机械悬臂梁的研究
来源期刊 物理学报 学科 工学
关键词 悬臂梁 噪声 灵敏度 最小可探测位移
年,卷(期) 2004,(1) 所属期刊栏目 总论
研究方向 页码范围 31-36
页数 6页 分类号 TN4
字数 4334字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.01.007
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王丛舜 北京大学微电子学研究所 3 42 2.0 3.0
2 张大成 北京大学微电子学研究所 43 793 13.0 27.0
3 李婷 北京大学微电子学研究所 44 616 13.0 23.0
4 于晓梅 北京大学微电子学研究所 11 65 5.0 8.0
5 阮勇 北京大学微电子学研究所 6 52 3.0 6.0
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研究主题发展历程
节点文献
悬臂梁
噪声
灵敏度
最小可探测位移
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
教育部留学回国人员科研启动基金
英文译名:the Scientific Research Foundation for the Returned Overseas Chinese Scholars, State Education Ministry
官方网址:http://www.csc.edu.cn/gb/
项目类型:
学科类型:
论文1v1指导