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环氧树脂
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体积电阻率
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分子动力学
导热系数
电介质薄膜
尺寸效应
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 高介电系数栅电介质材料铝酸铪薄膜
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 介电系数 栅电介质材料 铝酸铪薄膜 热力学稳定性 脉冲激光沉积技术 场效应管
年,卷(期) 2004,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 52
页数 1页 分类号 TN304
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
介电系数
栅电介质材料
铝酸铪薄膜
热力学稳定性
脉冲激光沉积技术
场效应管
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
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