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高介电系数栅电介质材料铝酸铪薄膜
高介电系数栅电介质材料铝酸铪薄膜
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介电系数
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铝酸铪薄膜
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高介电系数栅电介质材料铝酸铪薄膜
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工学
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介电系数
栅电介质材料
铝酸铪薄膜
热力学稳定性
脉冲激光沉积技术
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年,卷(期)
2004,(5)
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1页
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TN304
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中文
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主办单位:
中国科学院文献情报中心
出版周期:
双月刊
ISSN:
1003-014X
CN:
CN 11-2681/N
开本:
出版地:
北京市中关村北四环西路33号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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