分层串联空心薄膜电感

• 作者: 臧涛成 邵新勋
• 来源期刊: 苏州科技学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 空心薄膜电感 栅极型 掩膜 分层串联 品质因数
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 31-34,41
• 页数: 5页
• 分类号: O45
• 字数: 3620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-0687.2005.04.007

摘要

讨论了采用掩膜方法制备的栅极型空心薄膜电感的分层串联,在100MHz～10 GHz范围,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别由原来单层的130 nH,155 nH增加到185 nH和280 nH;电阻在6 GHz以下保持平稳,分别由单层的31 Ω,51 Ω增加到64 Ω和104Ω;品质因素(Q值)在1～6 GHz之间达到20以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	臧涛成	苏州科技学院应用物理系	53	61	4.0	6.0
2	邵新勋	苏州科技学院应用物理系	4	3	1.0	1.0