热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展

• 作者: 刘兴钊 吴传贵 张万里 李言荣
• 来源期刊: 重庆师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 热释电 非制冷红外焦平面阵列 低温生长
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 校庆特约稿
• 页码范围: 29-32,41
• 页数: 5页
• 分类号: TN216
• 字数: 3304字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6693.2005.03.007

摘要

探讨了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求.为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对ROIC的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术;另一方面发展了复合探测器结构设计,已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列,其NEDT可达20 mK.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣	电子科技大学微电子与固体电子学院	115	824	15.0	21.0
2	张万里	电子科技大学微电子与固体电子学院	142	705	13.0	17.0
3	刘兴钊	电子科技大学微电子与固体电子学院	56	310	9.0	14.0
4	吴传贵	电子科技大学微电子与固体电子学院	27	96	5.0	8.0