新型多弧离子镀膜机自动控制系统

• 作者: 冯占英 刘琭凌 周正干 曹文鹏
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜机 PLC 工控机 协议宏
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TP27
• 字数: 3035字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2005.05.005

摘要

利用工控机(IIC)和PLC研制成了新型多弧离子镀膜机自动控制系统,该控制系统可以实现镀膜工艺过程的自动控制.工控机设定技术参数后进入监控状态,实时监测控制PLC的工作状态;PLC控制现场设备的运行,并将现场各泵阀等设备的工作状态传给工控机.系统可靠性高,人机交互好,实现了多弧离子镀膜的自动控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯占英	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	2	7	2.0	2.0
5	周正干	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	105	1846	23.0	39.0
6	曹文鹏	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	3	8	2.0	2.0
7	刘琭凌		1	4	1.0	1.0