铁电薄膜及铁电存储器研究

• 作者: 刘保亭 武德起 赵庆勋 闫常瑜 闫正
• 来源期刊: 河北大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁电薄膜 集成铁电体 铁电存储器
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 学科综述
• 页码范围: 225-230
• 页数: 6页
• 分类号: O469|O484
• 字数: 2838字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2005.02.025

摘要

综述了铁电薄膜以及铁电存储器的发展,讨论了铁电薄膜制备方法、结构和物理性能表征,并结合作者的前期工作,详细讨论了用于铁电薄膜与硅衬底集成的导电阻挡层问题,指出了铁电薄膜研究中需重点解决的一些问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	赵庆勋	河北大学物理科学与技术学院	54	254	10.0	13.0
3	闫正	河北大学物理科学与技术学院	56	252	9.0	11.0
4	闫常瑜	河北大学物理科学与技术学院	5	47	4.0	5.0
5	武德起	河北大学物理科学与技术学院	7	42	3.0	6.0