电容式微加工超声传感器(cMUT)的结构设计及仿真

• 作者: 刘娟 宋光德 栗大超
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超声传感器 电容式微加工超声传感器 有限元分析 ANSYS
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 156-159
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2632字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.02.014

摘要

与传统的压电传感器相比,电容式微加工超声传感器(cMUT)性能优良,有着广泛的应用前景.为此,介绍了cMUT的基本结构和工作原理,并提出了一种新型结构.利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行模态分析,得到其共振频率和一阶振动图;利用ANSYS的耦合场分析模块和参数化设计语言(APDL),对结构进行力电耦合仿真,获得其直流偏压和作为发射器时所需的交流电压值.分析结果表明,所设计的结构符合设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗大超	天津大学精密仪器与光电子工程学院	89	722	14.0	20.0
2	宋光德	天津大学精密仪器与光电子工程学院	24	212	9.0	14.0
3	刘娟	天津大学精密仪器与光电子工程学院	7	37	3.0	6.0