电容式微加工超声传感器(cMUT)的有限元仿真

• 作者: 宋光德 官志坚 栗大超
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微加工超声传感器 塌陷电压 谐振频率 有限元模型
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 声微纳器件与技术
• 页码范围: 2290-2292,2296
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.259

摘要

介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的基本结构和工作原理.同时使用有限元方法对cMUT的运行情况进行模拟.提出了两个ANSYS模型来阐述cMUT的塌陷电压与谐振频率.一个3D模型用来阐述制造过程中的残余应力对cMUT谐振频率的影响.另外一个3D模型阐述不同的运行环境对cMUT的谐振频率的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
2	宋光德	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	24	212	9.0	14.0
3	官志坚	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	66	4.0	5.0