静电微泵的端点特性研究

• 作者: 应济 陈坚美
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 静电微泵 宏模型 动态响应 端点特性
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 628-631,636
• 页数: 5页
• 分类号: TH302
• 字数: 2268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2005.05.006

摘要

针对现有静电微泵性能仿真存在耗时长、需要参数多的问题,建立一种简单、准确的用于描述微泵端点特性的模型.使用端点特性建模技术,由拉格朗日方程得出微泵的运动方程,并给出了静电微泵的端点特性模型和流量表达式;利用能量耦合法和ANSYS分析软件,由宏模型的动态响应方程仿真静电微泵腔的端点特性量关系式.对静电微泵进行动态特性仿真研究,分析结果表明只需泵膜半径、泵膜厚度、静电间隙等参数就能分析微泵腔的动态响应,减少了计算过程的复杂性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	应济	浙江大学机械工程学系	41	442	11.0	19.0
2	陈坚美	浙江大学机械工程学系	2	20	2.0	2.0