MEMS与智能化微系统

• 作者: 欧毅 陳大鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS CMOS 智能微系统
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TN40
• 字数: 4094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.01.003

摘要

智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	欧毅	中科院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室	7	76	4.0	7.0
2	陳大鹏	中科院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室	1	1	1.0	1.0