高纯度SiC制品的开发

• 作者: 桂明玺
• 来源期刊: 国外耐火材料
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯度SiC制品 超高纯度SiC单晶 新型粉体制造方法 新型烧结体制造方法 应用
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 理论·研究
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174.7
• 字数: 2118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-7792.2005.03.011

摘要

本文主要概述了高纯度SiC粉体、烧结体的制造方法及其制品,同时也涉及到了超高纯度SiC单晶的制造和应用.SiC材料纯度不仅与电、电子的特性密切相关,而且与机械、热、光学的特性密切相关,所以利用其优异的耐热性、强度、硬度、耐磨损性、抗化学药剂性、体积电阻系数等特性,对工业的发展起到了巨大作用,特别是在半导体产业方面,迅速扩大了使用SiC基板的产品市场.