光电集成加速度地震检波器中声光波导相位调制器的设计与实验

• 作者: 吴波 崔宇明 张燕君 钟娟娟 陈才和
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 声光相位调制 光电集成加速度计 叉指换能器 声表面波
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 64-67
• 页数: 4页
• 分类号: TH824
• 字数: 1563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.01.013

摘要

提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS).为实现硅基底上的光波导M-Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法.该相位调制器利用叉指换能器(IDT)激发出声表面波(SAW)实现对光波导的相位调制.在对光波导声光相位调制机理深入研究的基础上,设计并制作了器件.实验结果与理论相一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈才和	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	34	360	11.0	18.0
2	崔宇明	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	31	314	9.0	17.0
3	吴波	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	15	64	4.0	8.0
4	张燕君	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	2	7	2.0	2.0
5	钟娟娟	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0