硅微光机械加速度地震检波器中M-Z光波导干涉仪结构设计

• 作者: 吴波 崔宇明 张燕君 陈才和 马广鹏
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 M-Z干涉仪 光波导 结构设计
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 77-82
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 1828字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.01.014

摘要

提出了一种新型的硅基M-Z干涉型光电集成加速度地震检波器.对硅基微光电机械加速度地震检波器的M-Z光波导干涉仪系统进行了系统研究和优化设计,采用K9玻璃作为基底层和包层材料,Bak7玻璃作为波导层材料,波导的宽度为4 μm,厚度为0.4 μm.M-Z光波导干涉仪的Y分支设计中采用上升反正弦S型弯曲,为适用于该干涉仪的信号臂和参考臂大跨距的特殊结构,应用波导转向镜实现了大角度光路转折,反射转向镜的内介质采用镀制金属铝膜得以实现,并利用BPM进行了仿真.为了防止TE模偏振光的偏振态经铝膜全反射后发生变化,加了4个长度为1 mm的TE模偏振器以保持其偏振态.实验结果与理论相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张燕君		46	308	10.0	15.0
3	陈才和		7	45	5.0	6.0
4	崔宇明		2	2	1.0	1.0
7	吴波		1	0	0.0	0.0