扫描电镜用图像采集系统的设计

• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 图像采集 FPGA Verilog HDL
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2162字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种用FPGA(现场可编程门阵列)技术设计的新型图像采集系统,该系统可用于改进图像采集功能欠缺的老型号扫描电镜.设计方案采用可编程芯片FP-GA对系统进行逻辑控制,编写不同的程序即可广泛应用于其他图像的采集.选用TI公司的ADSl606作为模数转换的核心芯片,介绍了ADSl606的输入驱动电路、参考源电路以及为其设计的仪表放大调整电路,并给出了FPGA的控制工作流程和用Verilog HDL(硬件描述语言)编写的部分程序.同时,还对电路设计的注意事项做了详细的说明.