室温红外探测器研究与进展

• 作者: 刘兴明 刘理天 韩琳
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 室温红外探测器 测辐射热计 热释电 标准CMOS工艺 薄膜晶体管
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 415-420,431
• 页数: 7页
• 分类号: TN215
• 字数: 3395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.02.050

摘要

简要概述了室温红外探测器技术的最新研究现状,首先根据工作机理的不同对红外探测器进行了分类,详细阐述了室温红外探测器的优点所在;接着在给出了室温红外探测器典型结构的基础上,对这些典型结构进行了比较和讨论;给出了最近出现的几种新型探测器,介绍了其工作原理、制作工艺和主要性能指标;最后对室温红外探测器的发展方向进行了预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	韩琳	清华大学微电子学研究所	8	66	5.0	8.0
3	刘兴明	清华大学微电子学研究所	8	66	5.0	8.0