微结构光学元件的应用与制造

• 作者: 杨元华 程凯 陈时锦
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构光学元件 微加工 微成型
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 68-73
• 页数: 6页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.01.014

摘要

介绍了微结构光学元件在很多领域的应用,比如军事、医药生物研究及其他民用行业等.这种微结构光学元件为光学设计者与制造者提供了更多的自由度.讨论了微结构光学元件的多种制造方法,包括光刻技术、LIGA技术、模压成型技术、注射成型技术、热压成型技术以及金刚石机械加工技术,每种方法在加工精度、效率以及是否适合加工大深宽比结构等方面都有其自身的优点与缺点,将各种复制技术与机械加工技术结合起来,是将来的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈时锦	哈尔滨工业大学精密工程研究所	30	556	15.0	23.0
2	程凯	哈尔滨工业大学精密工程研究所	66	1058	19.0	30.0
3	杨元华	哈尔滨工业大学精密工程研究所	8	159	7.0	8.0